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半導體大廠都是他客戶!FlowVIEW 挑戰奈米級濕性材料檢測市場

蔡仁譯攝

現代科技應用隨著製程與材料都進入奈米等級快速推進,現行液態材料的奈米觀測方案多以光學顯微鏡為主,量測能力至 200nm 為其物理極;如選用利用電子束聚焦當光源推進量測能力的電子顯微鏡,則必須在真空環境下才有可能成像,但液態檢測樣本因無法適存於奈米科技檢測用電子顯微鏡的真空腔槽,因此難以克服原樣觀測的技術瓶頸。

為了解決現有技術的侷限,使光學顯微鏡可檢測奈米級濕性樣本,FlowVIEW創辦人暨執行長李信宏從任職工研院時期開始,便潛心研發適用於光學顯微鏡和電子束顯微鏡的基本套件,2017年7月李信宏從工研院獨立出來開始創業,並於短時間推出「Flow AOI Solution」基本套組,使奈米級濕性材料檢測可以不受限於硬體設備,提供相較於全球市面上同級產品,更加多元化且智慧化的分析服務。

左起:FlowVIEW創辦人暨執行長李信宏、FlowVIEW 專案經理 李虹
蔡仁譯攝

突破現有技術侷限,Flow AOI Solution化不可能為可能!

電子顯微鏡運作原理須將觀察腔抽真空,但無論半導體、生技、能源、生醫藥產業所需觀測的濕性樣本卻會因真空環境導致觀測結構(如細胞膜或細胞壁等)無法負荷抽真空後的內部壓力而損毀,因此,幾十年以來行業中的觀測幾乎都採取將濕性材料烘乾後再進電子顯微鏡觀察,如果轉而使用的近億級的TEM(Transmission electron microscope,穿透式電子顯微鏡),雖可以直接觀測濕性材料,但是TEM的電子束仍會直接打穿材料,因此沒有辦法觀測到活體細胞。

「我們在 SEM(Scanning Electron Microscope,掃描式電子顯微鏡)底下可以使用的觀測晶片,也就是由我們的微流控晶片所衍伸出來的系統。」FlowVIEW 的專案經理李虹提到,這個獨特的解決方案「Flow AOI Solution」基本套組包含 Wet cell 晶片模組、Wet cell安裝模組、液體套件監控模組,其中,晶片模組可將濕性樣本直接送入真空腔的電子顯微鏡內,且FlowVIEW所開發的的觀測薄膜只有20至50奈米,保護受觀測物質在抽真空的過程中結構不被破壞,相當適用於研究室的實驗器材與產線的自動化檢測。

填補奈米等級監測的缺口,200到1奈米的觀測不再是天方夜譚

「我們的核心技術雖然是晶片,但我們一系列檢測相關設備,包括軟體也能切合企業所需,因此半導體公司如台積電、三星電子、LG都是我們的客戶。」,創辦團隊認為 FlowVIEW 之所以能在創業初期就擁有較為顯赫的客戶,其原因在於這些大廠的材料及機器十分昂貴,經不起大規模的損失,因此更需要精確的解決方案去做檢測,保護產品免於風險,進而恐固商譽、降低實體資材的損失

「Flow AOI Solution」基本套組包含Wet cell晶片模組、Wet cell安裝模組、液體套件監控模組。
蔡仁譯攝

不只是科技大廠,目前包括化妝品、生醫產業界等,不管是對人體有益/害的物質、化妝品含料都逐漸朝奈米等級發展,但觀測界的技術卻遲遲無法跟上,而 FlowVIEW 恰好不足了當中的落差。「現在大家常常使用的 200 奈米光學顯微鏡,就已經是極限了,即便科學家常用的 TEM 可以觀測 1奈米以下的物質,但是 200 到 1 奈米的觀測一直以來都存在缺口。」李虹強調,過去有半導體廠因更換供應商的原料出了問題,但線上晶圓檢驗(in-line wafer inspection )儀器無法檢測出該異常的情況,造成部分晶圓良率偏離,損失不計其數。

濕性材料的奈米級元素常有團聚成粒子的狀況,致使拋光時這些粒子就會刮傷產品表面,現有的檢測系統卻難以觀測。雖有國際廠商宣稱可觀測到 30 - 50 奈米左右的濕性材料,但 FlowVIEW 和iST宜特科技 合作的實驗檢測結果更加穩定。

從觀測到AIoT串聯軟硬體,Flow AOI Solution可達到兩秒內即時回報

隨著半導體製程越加精密,奈米粒子的觀測市場預計在2025年可達到1180億美金的市值,「積體電路發明的這六十年,一直沒辦法做到濕製成材料的監測,我們總結了很多以往的觀測方式,Flow AOI Solution 現在已可以做到下至 1 奈米、上至 1 毫米,無論在量測能力、距離、畫素,我們都處於業界領先的位置。」,團隊表示,根據現有客戶驗證可為濕製程良率提升 5 個百分點。

Flow AOI Solution現在已可以做到下至1奈米、上至1 Micrometer,無論在量測能力、距離、畫素,我們都處於業界領先的位置。
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「若想要將解決方案導入整個半導體產業界的話,我們必須加入AIoT去做辨識才有辦法在他們的產線上做自動檢測。」李虹分享,自動檢測可達到兩秒內即時反應液體樣本是否出現狀況,因此,相對於國外競爭者,FlowVIEW 能夠掌握的技術更加精實,在目前的市場上不容易被取代。除此之外,其基本套件可觀測到各種奈米結構的力、光、電、磁等物理與化學性質,包括所有形態學相關資訊,如成分、尺寸、分佈、形狀等都能即時檢測,且不需稀釋、能以原液觀察,這顯然已經突破現有檢測方法的極限,達到具有前瞻性的檢測技術標準。

「我們擁有最重要的晶片研發、微流控系統,以及最獨家的全球獨家影像資料庫,因為沒人可以拍濕性材料,建立足夠的資料庫。」李虹補充說道,未來,FlowVIEW也不排除將服務導入其他的產業界,以自動的監測系統以及濕性材料的數據資料,提供更加符合需求的客製化解決方案

展望生醫產業未來,期待為癌症標靶藥物盡一份心力

未來,超越光學檢測等級的濕性奈米材料會越來越普及,在各產業市場也將逐漸擴大,李虹解釋:「過去,同業認為大部分的藥品利用光學檢測就足夠了,但當醫療技術越來越先進,治療癌症的奈米標靶藥物研發趨於成熟,過往的觀測方法也就不敷使用了。」FlowVIEW期望能將濕性材料的觀察導入醫療產業,使醫學研究者能將細胞放在具溫控的原液培養皿中進行觀察,如此一來,細胞才能在活體的情況下被完整監控。

「將解決方案導入醫療產業,是我們更遠的目標,希望未來有一天,因為奈米級標靶藥物的研發,癌症也能對症下藥,轉而成為慢性病,而非絕症。」FlowVIEW創辦人暨執行長李信宏說道,FlowVIE目標於未來十年於歐盟、美國建立FDA(U.S. Food and Drug Administration,美國聯邦食品藥物管理局)認證,締造世界級奈米檢測儀器的新標準。

創業快問快答

Q:最常被客戶或投資人問起的事情?您會如何回應?

Q:技術門檻和專利。

A:在專利佈局方面,已利用不同的策略與手段進行專利的佈局與推廣,其中包含專利授權、專利監控、專利引進、專利佈局、建立產業聯盟與市場銷售推廣等等,已於台灣、日本、中國、美國申請達8項原創新型專利,建立完整專利壁壘。

Q:創業,教會了你哪些事?簡單分享創業至今以來的心得感想?

A:創業教會了我凡事都要先從自己認錯開始,對於某件事員工為什麼會如此認為?為什麼客戶的churn rate無法下降,都先從自己開始認錯起才有機會找到解方。

Q:長遠來看,公司想成為一家何種類型的公司?下一步的目標是什麼?你們如何完成?

  1. 近代奈米技術的開展,始於美國物理學家費因曼提出劃時代的概念:”無疑地,當我們能夠對細微尺度的事物加以操控的話,將會大大的增加我們可能獲得物性的範圍 ”, 符合奈米科技定義的奈米粒子體積極小,不管是物理性質或化學特性 ,材料尺寸所造成的材料特性將有相當大的差異,奈米對傳統產業的影響將不亞於高科技產業。

  2. 未來目標為建立未來十年歐盟及美國FDA。

  3. 為了在奈米尺度上研究元件和材料的結構與性質,必須建立奈米檢測與表徵技術,以研究各種奈米結構的力、光、電、磁等物理、化學性質,FlowVIEW Flow AOI的突破傳統檢測方法的極限,並提供下一代的技術標準,完整奈米基因材料從研發、進出料檢測、線上臨場分析與控制的各方面分析需求,建立獨步全球的濕製程檢測生態系。
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公司資訊

公司名稱:邑流微測 FlowVIEW TEK
成立時間:2017/7/6
產品名稱:新世代微奈米液態材料臨場智動化檢測方案
上線時間:2017/7/6
公司人數:邑流微測分為研發部、業務部、軟體部、產品行銷部、行政部
官方網站Facebook新創資料庫

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盧奕昕
創業小聚企劃編輯

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